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]article_adlist-->近日,精测电子控股子公司上海精测半导体量产制造基地完成主体结构全面封顶。
随着最后一方混凝土浇筑完成,该项目正式由建设规划阶段转入后续落地施工阶段,将进一步完善企业半导体量检测设备研发与产能体系。

上海精测成立于2018年7月,是国内半导体量检测领域的头部企业,主营业务为半导体量检测设备的研发、生产与销售,同时也开发一部分显示和新能源领域的检测设备。公司曾获得国家专精特新“小巨人”企业、国家高新技术企业、上海市专精特新企业、上海市企业技术中心等荣誉。
在半导体制造全流程中,量检测设备直接关系到芯片的工艺精度与生产良率,属于产业链中的关键支撑环节。上海精测依托自主组建的研发体系,拥有电子束/离子束成像、光谱分析量测、光学干涉测量等技术手段,已开发薄膜厚度量测、关键尺寸量测、有图形晶圆检测、电子束检测等多类产品,能够为客户提供制程管控优化和良率提升解决方案。
上海精测半导体量产制造基地项目地处上海市青浦区赵巷镇佳旭路东侧,总投资3.8亿元,总规划面积约3.7万平方米。
项目建成后将形成集研发、生产、实验于一体的综合性基地,作为上海精测半导体在半导体量检测领域新技术、新工艺和新产品的预研、小试以及中试基地,将有效缓解现有产线资源紧张问题,高效满足客户批量供货需求,并加快向更先进制程工艺的迭代升级,持续提升企业的综合研发能力和竞争实力。

根据规划,项目建成并全面达产后,将推动整体产能扩充3至5倍。相关量检测设备将广泛应用于半导体前道制程量检测、先进封装量检测及后道电性测试中,完美适配逻辑、存储、功率半导体等多品类芯片制程需求,将进一步提升我国高端半导体量检测设备的自主化供应能力。

当前,半导体产业正进入新一轮上行周期,半导体器件与封装架构的共同演进,在提升集成密度和芯片性能的同时,也带来了更复杂的量检测需求。半导体量检测设备作为保障芯片良率、稳定产线运行、实现先进制程突破的核心关键装备,贯穿半导体制造全流程。长期以来,高端半导体量检测设备高度依赖进口,成为制约国内半导体产业自主可控发展的关键“卡脖子”短板。
此次上海精测半导体量产制造基地项目的落地,将进一步夯实公司的产能与研发底座,助力其依托前沿技术预研与工艺迭代,突破先进制程量检测技术壁垒。同时,精准卡位我国半导体产业国产化、高端化、自主化的核心发展需求,通过产能规模化升级,提升国产替代供给能力,构建安全、可靠、稳定的产业链生态。
编辑|刘程星 排版|郭蓓蓓
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